Tektronix公司公布了兩個新的源測量單元(SMU)的模塊。Keithley 4200 A-SCS參數(shù)分析儀這可以執(zhí)行低電流測量,即使存在高負載電容,因為長電纜和復雜的測試裝置。面臨這一挑戰(zhàn)的顯著測試應用包括LCD顯示、制造和卡盤上的納米FET設備測試。
新的4201-SMU和4211-SMU專門為長電纜、開關矩陣、卡盤的柵極觸點和其他固定裝置設計。在一些小電流測量應用中需要這樣的測試裝置,可以增加在輸出端所看到的電容。SMU盡管被測試的設備本身的電容非常低。當測試連接電容過高時,產(chǎn)生的低電流測量結果可能變得不穩(wěn)定。


Tektronix Keithley SMU模塊
為了應對這些挑戰(zhàn),新的模塊可以使用傳統(tǒng)的SMU,使用更長的電纜或更多的連接電容來實現(xiàn)電壓源和電流測量。這節(jié)省了研究人員和制造測試工程師的時間和成本,否則將花費故障排除和重新配置測試設置。
“由于精密的測試裝置而產(chǎn)生的高負載電容是一個日益嚴重的問題,因為為了節(jié)省能源,降低了當前的水平,就像測試最終會在智能手機或平板電腦上出現(xiàn)的大型液晶面板一樣,”彼得格里菲斯,Tektronix公司Keithley分部系統(tǒng)和軟件總經(jīng)理。“我們的新模塊擅長于進行穩(wěn)定的低電流測量,并將立即使我們的許多現(xiàn)有和未來客戶受益。”
在最低支撐電流測量范圍內(nèi),4201-SMU和4211-SMU可以來源和測量一個比今天可能的系統(tǒng)容量高1000倍的系統(tǒng)。例如,如果電流電平在1到100 Pa(微微安培)之間,新的Keithley模塊可以穩(wěn)定的負載電容高達1F(微法拉第)。相反,在測量穩(wěn)定性下降之前,最大負載電容競爭單元僅能耐受1000 pF(皮氏),或更差1000倍。
4201-SMU和4211-SMU可以訂購4200 A-SCS預配置的全參數(shù)分析解決方案,或作為對現(xiàn)有機組的現(xiàn)場升級。升級可以很容易地在現(xiàn)場完成,而不需要將該單元發(fā)送到服務中心,從而可能節(jié)省幾周的停機時間。
關于4200 A-SCS
4200 A-SCS是一種可定制和完全集成的參數(shù)分析器,它提供對電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快脈沖I-V特性的同步洞察,以加速半導體、材料、工藝開發(fā)和制造。每個4200 A-SCS可以配置多達9個SMU。該系統(tǒng)的clarius軟件用戶界面提供觸摸和滑動或點擊控制先進的測試定義,參數(shù)分析,繪圖和現(xiàn)代半導體,材料和工藝特性自動化能力。