在典型的功率轉換應用中，半導體器件用作開關。泄漏電流測量表明半導體性能與理想開關的接近程度。此外，在測量設備的可靠性時，泄漏電流測量用于指示設備退化和預測設備壽命。

半導體研究人員正在尋找材料來制造更高質量的開關，并生產泄漏電流非常小的大功率設備。像 Keithley 2470 這樣的 SMU 儀器提供精確的低電流測量能力，測量分辨率低至 10 fA。

為防止在測量小于 1 μA 的電流時出現不必要的測量錯誤，請使用三軸電纜和靜電屏蔽。三軸電纜是必不可少的，部分原因是它們允許承載電流測量儀器的保護端子。保護通過將系統泄漏電流遠離測量端子來消除系統泄漏電流的影響。使用靜電屏蔽將靜電荷從測量端子分流。靜電屏蔽是一個金屬外殼，包圍著電路和任何暴露的連接。安全測試外殼可以用作靜電屏蔽。