什么是低成本測試夾具來執行低于 1nA 的穩定和準確的電流測量？

回答 ：

根據 6430 參考手冊的以下摘錄，進行低于 1nA 的穩定和準確的電流測量需要防護罩（法拉第籠）。

希望測量低于 1pA 的電流。選擇了一個 1T 電阻。使用的電壓為 0.5V，使電流低于 0.5 pA。

設計了一種簡單且廉價的實施方式。全國連鎖一元店出售 3 件裝的烤盤，尺寸約為 6 英寸寬 x 9 英寸長 x 2 英寸高。電阻器放置在高低鱷魚夾的末端。保護鱷魚夾連接到底部烤盤。使用電纜末端的剛度將 DUT 懸掛在外殼內。大部分或所有非屏蔽電纜和夾子都在外殼內。

頂盤倒置在底盤頂部。

儀器設置為 0.5V 電源。電流限制設置為 1.05 pA。過濾器配置為最大 NPLC 和最大平均讀數。速度設置為最大精度。關閉過濾器。

打開輸出。讀數將漂移，直到外殼上的所有剩余電荷都被排出，并且外殼被充電到 DUT 的電位。這可能需要幾秒鐘到幾分鐘。耐心點。

當讀數穩定到 +/- 幾個 % 時，打開過濾器并等待讀數變得優于 +/- 1%。對于所選的 1T DUT，讀數約為 958 G ohm +/- 1 G ohms。這大約是 0.1% 的不確定性。外殼的總成本為 1 美元。