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精密運動控制

PEMCH 提供大量高精度的電壓/電流傳感器,可精確控制電流,以及精細分辨率,廣泛應用于精密運動控制領域。

1. Danisense高精度電流傳感器在半導體光刻行業的應用

由于光刻相機的性能能直接決定現代半導體制造的工藝水平(譬如:28nm,14nm,10nm),其中掃描步進器中的核心技術是在曝光時移動“物體”和“膜”,為了實現精確控制,實現更高的工藝水平,位置和運動控制是至關重要的。而運動控制是通過測量致動線圈中的驅動電流來實現;

Danisense超高精度直流電流傳感器,可提供所需的電流精度和差分線性度,實現其驅動電流的精準控制,Danisense多年來一直生產高性能傳感器,為了實現所需的精度性能,Danisense的DS系列電流傳感器不使用霍爾元件,而是基于Fluxgate技術,采用高非線性的無源元件,實現線圈磁通量的高靈敏檢測,且Danisense已經使用了多年的成熟技術。這是一個被證明的高技術在幾個Danisense電流和電壓傳感器系列的核心。Danisense的DS系列零磁通高精度電流傳感器具有普遍 ppm(百萬分之一)的線性度。

2. 機器人的運動控制

眾所周知,機器人需要采用大量的物理量傳感器,因而機器人的自能程度和完成度很大的因素取決于傳感器的性能。PEMCH提供大量的高精度電流傳感器,以及Hall電流傳感器芯片集成于機器人的運動控制。

應用產品

跟該應用相關的產品如下:

主營:電流探頭,電壓探頭,羅氏線圈,電流傳感器,高壓探頭,電流互感器,功率電子測量產品
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